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封裝: TRESKY全自動微組裝系統(tǒng); TRESKY半自動微組裝系統(tǒng); F&K Delvotec引線鍵合; F&S Bondtec引線鍵合機(jī); AMADA平行縫焊,儲能焊機(jī); REK真空共晶回流爐

檢測: DAGE焊接強(qiáng)度測試機(jī); SONOSCAN 超聲掃描顯微鏡; YXLON X射線檢測系統(tǒng); CYBER三維表面測量系統(tǒng)

前道: MPCVD微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng); HHV科研用真空鍍膜系統(tǒng); Trion等離子沉積，刻蝕; THERMCO擴(kuò)散,退火,LPCVD工藝爐; TEMESCAL精密電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)

金剛石/碳化硅: MPCVD微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

產(chǎn)品資料

Auto500GB

簡介：

Auto500GB是專門設(shè)計用于手套箱集成使用的鍍膜設(shè)備，滿足氧氣或水汽敏感的材料鍍膜的應(yīng)用要求。該系統(tǒng)配了一個特殊結(jié)構(gòu)的真空腔室，可直接與市場上大多數(shù)手套箱集成到一起。可以進(jìn)行電子束蒸發(fā)，熱阻蒸發(fā)等物**相沉積鍍膜。系統(tǒng)配置可選擇多種腔室尺寸和工藝附件，以符合用戶需求。

產(chǎn)品詳情

真空腔室的前門可豎直滑動開關(guān)，嵌入手套箱內(nèi)，并占用很少的手套箱空間；其后門是鉸鏈扇式開關(guān)，能在不影響手套箱內(nèi)氣氛的情況下輕松維護(hù)腔室內(nèi)工藝組件。

鍍膜源選項包括熱阻蒸發(fā)源、精密控溫的有機(jī)蒸發(fā)源、磁控濺射源以及電子束蒸發(fā)源。

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深圳電話：189 3890 0217
西安電話：158 2980 5628
蘇州實(shí)驗室及3D封裝中心
電話：0512-65952840

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